近年来,石墨烯薄膜在太赫兹探测领域的研究已经成为热点。石墨烯太赫兹探测器在室温下的探测灵敏度较高,响应速度快,展现出了与其他探测技术竞争的潜力。本文首先介绍了太赫兹探测器的分类以及原理,然后重点从结构上介绍了石墨烯太赫兹探测器的3大组成部分:晶体管沟道处的高质量石墨烯薄膜、针对目标探测频段设计的太赫兹天线以及器件整体结构的设计和制备工艺,并且就各部分的关键技术与难点给出了可能的解决途径。最后,本文讨论了石墨烯太赫兹探测器当前的现状及未来的发展所面临的挑战。
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