薄膜线条宽度对坡莫合金AMR性能的影响

作者：余涛; 杨黎; 岑杉杉

来源：传感器世界, 2022, 28(02): 1-5.

DOI：10.16204/j.cnki.sw.2022.02.007

• 坡莫合金
• 线条宽度
• AMR
• 饱和磁感应强度

利用半导体标准工艺，在8英寸工艺平台上，通过光刻和剥离工艺制备出不同线条宽度的坡莫合金材料Ta(5 nm)/Ni Fe(12 nm)/Ta(2 nm)，然后再进行表面钝化、电极引出和TO-94封装以后进行测试。测试结果表明：在常温条件下，不同薄膜线宽对材料AMR值影响不大，而对薄膜材料的饱和磁感应强度影响巨大。当线宽从18μm增大到30μm时，薄膜材料的AMR测试曲线在1.2%处的宽度ΔH从6,565.408 A/m减小到2,025.024 A/m。