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摘要
近年来,MEMS技术已经得到了长足的发展,而基于MEMS制造技术的硅微通道板是一种特殊的三维结构材料,它在多个研究领域均有着重要的应用价值,已经成为各国学者研究的焦点。本文在硅微通道板的基础上,在储能材料和器件领域展开了一系列的创新性探索和研究,主要内容包括： 1.制备了大深宽比硅微通道板和三维集流体 首先讨论了硅在含氢氟酸的刻蚀液中的刻蚀行为,结合多孔硅的形成机制模型,研究了硅微通道板的形成机理,并深入探讨了大深宽比硅微通道板的制备流程,按顺序具体包含：硅片的清洗、氧化、光刻、诱导坑形成、电化学刻蚀。研究了各个步骤对硅微通道板形成的影响,讨论了重要参数的选取和控制。本部分还详...
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