SiO2/IDT/AlN/Diamond多层结构中声表面波传输特性的有限元分析(英文)

作者：张祖伟^*; 李小飞; 袁宇鹏; 杨靖

来源：重庆邮电大学学报(自然科学版), 2021, 33(05): 714-722.

• 声表面波
• 有限元仿真
• 多层结构

基于COMSOL软件对SiO2/IDT/AlN/Diamond多层结构中声表面波(surface acoustic wave, SAW)传输特性进行有限元(finite element method, FEM)分析。深入分析了多层结构中声波的色散特性,直观地展现了表面波向漏表面波的转化过程,研究了Al电极层厚度和SiO2缓冲层厚度对声表面波的影响。基于微加工工艺研制出一系列不同结构的声表面波谐振器,并对其频率响应特性进行了测试。测试结果与仿真结果基本一致,其中,1阶模式的声表面波表现出较好的应用潜力,可用于声表面波滤波器的研制。

• 单位
  中电科技集团重庆声光电有限公司