提高石英表面聚焦离子束微纳直写精度的方法

作者：王伟; 庞陈雷; 杨青; 佘玄; 吴兰; 李强

来源：实验室研究与探索, 2021, 40(09): 61-65.

DOI：10.19927/j.cnki.syyt.2021.09.014

• 微纳加工
• 聚焦离子束
• 绝缘电介质
• 微窗硅基盖板
• 倒金字塔通孔

针对聚焦离子束在绝缘材料表面直写微纳图形时因电荷积聚原因导致加工效果差的情况,将单晶硅湿法各向异性腐蚀工艺应用于单晶硅片表面制备倒金字塔形通孔,作为微窗硅基盖板覆盖于绝缘衬底表面。当聚焦离子束穿过通孔在非导电衬底表面进行溅射刻蚀时,微窗硅基盖板的导电特性可提高溅射出的带电粒子的迁移率,降低电荷积聚-放电的频率,从而有助于聚焦离子束在绝缘衬底表面进行微纳加工。试验在具备高分辨率扫描电子显微镜成像和聚焦离子束微纳加工功能的双束系统中进行。试验结果显示被微窗硅基盖板的通孔环绕的石英表面的刻蚀结果与未被环绕的对比,刻蚀效果有显著改善,甚至部分刻蚀结果与单晶硅表面的刻蚀结果一致。

• 单位
  之江实验室; 浙江大学; 现代光学仪器国家重点实验室