用于化学气体检测的压阻检测式二氧化硅微悬臂梁传感器

作者：李鹏; 李昕欣; 王跃林

来源：传感技术学报, 2007, (10): 2174-2177.

• 二氧化硅
• 微悬臂梁
• 压阻
• 传感器 silicon dioxide
• microcantilever
• piezoresistive
• sensor

文中演示了一种高分辨率的压阻检测式二氧化硅微悬臂梁传感器及其制作方法,并利用该传感器实现了对化学气体的检测.通过传感器在线检测以及其它表征手段,验证了该传感器通过单分子自组装方法获得敏感层的可行性.经过Cu2+/巯基十一酸单分子自组装层修饰的微悬臂梁传感器可以对甲基膦酸二甲酯(DMMP)气体进行快速响应,最小检测浓度可达数ppb(×10-9).

• 单位
  上海交通大学; 传感技术国家重点实验室; 中国科学院上海微系统与信息技术研究所