漏电低软度大的3300V FRD设计

作者：高东岳; 叶枫叶; 张大华; 骆健; 周东海; 冯会会

来源：中国集成电路, 2022, 31(03): 61-65.

• 反向漏电流
• 软度
• 轻离子辐照
• 电子辐照
• 台阶形场板

为了满足3300 V FRD反向漏电低，反向恢复软度大的应用要求，本文介绍了一种新的FRD设计。该设计通过优化阳极掺杂，采用轻离子辐照和电子辐照相结合的寿命控制方式来增加FRD的反向恢复软度，降低FRD的漏电流，通过台阶形场板保护环结构来降低保护环的漏电流。采用8英寸平面栅加工工艺得到的芯片封装成了3300 V/1500 A FRD模块。模块在高温150℃下的V_F为2.18 V，漏电流I_R为10 mA,反向恢复能量（E_(rec)）为1665 mJ，关断软度为3.67，反向恢复极限di/dt为8000A/us时承受的功率可达3210 kW。

• 单位
  国网电力科学研究院