一步法消除蓝宝石晶体材料的内部应力

作者：戴生伢; 黄振进; 柳祝平; 高长有; 王东海; 庞旭

来源：人工晶体学报, 2019, 48(10): 1860-1862.

DOI：10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2019.10.013

• 蓝宝石晶棒
• “一步法”退火
• 翘曲度
• 弯曲度
• 透过率

温度梯度法(TGT)生长蓝宝石晶体不可避免出现应力。为提高晶体的品质和加工质量需进行释放应力去色退火处理。使用现有"两步法"退火工艺,由于其退火温度低且速度慢,需要付出较高的时间成本和退火工艺的成本。现提出了"一步法"退火工艺,即在1750～1800℃空气气氛中直接进行高温退火。蓝宝石晶棒经"一步法"退火处理后,其内部澄清透明,且晶片加工终检的翘曲度(warp)和弯曲度(bow)的不良率较未退火前分别降低了100%和70%。蓝宝石晶棒的高温退火处理效果明显,可在其他晶体材料中尝试推广。

• 单位
  同济大学; 元亮科技有限公司