一种具有谐振选频功能的金属微腔红外探测器

作者：甄红楼; 聂晓飞; 陆卫; 张亚峰; 尹伊哲; 李宁; 李志峰; 陈效双

来源：2019-05-17, 中国, ZL201910411818.5.

本发明公开了一种具有谐振选频功能的金属微腔红外探测器。探测器通过探测材料的红外吸收特性与微腔结构的谐振选频特性的有机结合,可以实现红外波段的窄带探测以及光谱成像探测。具体来说,通过将红外探测材料置于微腔结构内部,基于微腔结构的共振模式,入射红外光耦合进入微腔后,只有特定波长的光能够在微腔内部形成稳定的谐振模式,进而被探测材料吸收探测,从而实现免滤光或分光的选频窄带探测。器件的探测波长可以随微腔结构尺寸的调整而调整,因此,这种集成了微腔结构的红外探测器同时具有在像元级尺寸上实现波长选择探测的能力。通过不同像元的组合,可以方便地实现具有光谱探测识别能力的焦平面探测器芯片。

• 单位
  中国科学院上海技术物理研究所