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摘要
本发明公开了一种部分解耦的平面三自由度并联精密定位平台,包括动平台、定平台,在动平台与定平台之间安装三组结构相同的驱动支路,每组驱动支路包括依次按照第一移动副、第二移动副、旋转副联接形成的PPR驱动链；PPR驱动链,即第一移动副的导轨与定平台固接,第二移动副的导轨与第一移动副的滑块固接,旋转副的转动铰链一端联接第二移动副的滑块上,另一端固接动平台；运动输入部分解耦,X向(Y向)的运动输入不会引起Y向(X向)从动；本专利简便易行的技术手段,克服了现有并联机构运动耦合、运动学求解复杂、设计加工繁琐等缺点,可以满足精密定位平台高精度的要求,在精密加工、微电子制造等领域具有广阔的应用前景。
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