全息波导元件的设计通常会分解为光栅设计和波导设计,这种设计过程并不直观,且不适用于加工误差分析。为了解决上述问题,提出一种全息波导元件的综合分析方法,以二维出瞳拓展的全息波导显示系统为例,针对波导上下表面不平行度、光栅结构参数进行误差分析,以便了解上述误差对成像质量的影响。通过对模型参数的误差分析,对实际的生产加工过程提出有意义的精度指导。
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