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摘要
针对实验室条件下9J光切显微镜测量自动化程度不高、测量效率低、测量误差大的问题,该文对9J光切显微镜的载物台进行了测绘和建模,对其机械部分进行了改进设计,提出了以光切法测量表面粗糙度为基础,通过单片机驱动步进电机控制载物台X、Y方向及仪器主体Z轴方向的运动,并将CCD光电耦合器件与原显微镜结合,实现了测量数据的采集和处理。对比原9J显微镜测量过程:改进后的仪器自动化程度高、降低了操作人员劳动强度、提高了表面粗糙度测量精度。
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单位银川能源学院
