研究了膜厚对WO3薄膜的电致变色特性的影响。WO3电致变色薄膜采用真空电子束蒸发技术制备,采用光学膜厚极值法和石英晶体振荡法膜厚测量技术监控WO3薄膜的膜厚及其光学特性。对不同光学膜厚的WO3薄膜的初始态、着色态和退色态的光谱特性进行了对比,同时研究了透射比和电流的时间响应特性。