等离子体工艺对PDMS褶皱断纹的影响

作者：刘杰; 李孟春^*

来源：微纳电子技术, 2020, 57(01): 73-79.

DOI：10.13250/j.cnki.wndz.2020.01.012

• 纳米颗粒
• 聚二甲基硅氧烷(PDMS)
• 褶皱
• 自组装
• 等离子体
• 断纹

一维聚二甲基硅氧烷(PDMS)褶皱可用于纳米颗粒自组装模板,具有制备工艺简单、成本低、适合大面积制备的优点,因而引起人们的广泛关注。然而,采用机械拉伸释放法形成褶皱的过程中会出现大量的断纹,进而影响褶皱模板的周期性。从断纹形成机理出发,将PDMS样品制备、机械拉伸及电机释放过程的工艺条件保持不变,通过调整等离子体产生的工艺参数来改善断纹。实验结果表明:气压和功率是影响褶皱断纹的主要因素,减小气压和减小功率可以使同周期褶皱断纹分别减少46.6%和26.6%。研究结果为制备不同周期的高质量PDMS褶皱模板提供实际参考,有利于其在自组装模板中的应用。

• 单位
  太原理工大学