磁控溅射制备ZnO/p-Si薄膜异质结的室温气敏特性

作者：王国东; 杨林林; 马鸿雁^*; 璩光明

来源：传感器与微系统, 2022, 41(05): 27-30.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2022)05-0027-04

• ZnO薄膜
• 异质结
• 室温
• 气敏

采用磁控溅射方法在p型Si衬底上制备ZnO纳米薄膜并形成异质结。在溅射气压分别为0.1,1.0,5.0 Pa时制备了不同形貌的ZnO纳米薄膜，并详细分析了ZnO薄膜的表面形貌、结晶质量对异质结I-V特性和室温气敏特性的影响。结果表明：溅射气压为5 Pa时，ZnO薄膜的结晶质量最好，异质结的气敏性能最佳。室温下，在18×10-3的乙醇气体中，当外加偏置电压为18.4 V时，其电流灵敏度最高可达617%。

• 单位
  河南理工大学; 自动化学院