LED产业含氨含氢废气处理技术发展现状

作者：许海青; 陶莉; 刘晨明; 林晓; 李志强; 李雅

来源：环境科技, 2019, 32(02): 53-62.

• LED行业
• 含氨废气
• 处理技术
• 资源化

LED外延片生产过程中金属有机物化学气相沉积(MOCVD)工艺会产生大量废气,其主要成分为NH3,H2,N2和少量金属有机化合物(MO源),必须进行无害化处理,工业上常用的方法有燃烧法、水吸收法和化学法等。由赛科康仑公司设计开发的新型LED废气资源化装置以精馏蒸氨为原理,通过参数设计、设备集成优化,一步实现废气水淋洗液被浓缩得到浓度为20%的高纯浓氨水,可进一步制成氨气或液氨返回生产工艺,氨回收率大于99%,具有占地面积小、操作弹性大、资源化效率高的特点。

• 单位
  绿色过程与工程重点实验室; 中国科学院过程工程研究所; 北京赛科康仑环保科技有限公司