科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
摘要
激光三角法因其非接触、结构简单和工作距离大等优点在粗糙度测量中的应用越来越多，但激光测量易受散斑噪声影响，无法实现高精度的测量。对此提出一种非相干光三角法，采用非相干线光作为测量光源，避免了散斑噪声影响。搭建一套测量表面粗糙度的非相干光三角法系统，通过对比非相干光条纹图与激光条纹图的特点，研究了表面粗糙度参数的计算方法，完成了刨削和立铣不同粗糙度等级样块的测量，并增加触针法的测量结果作为参考标准。实验结果表明：非相干光三角法的测量结果与触针法结果接近，其中测量的轮廓算数平均偏差Ra的相对误差最大为11.3%,轮廓最大高度Rz的相对误差最大为16.9%。激光三角法在测量粗糙度值较大的样块▽3～▽5时误差较小，测量粗糙度值较小的样块▽6和▽7时误差激增，Ra和Rz的相对误差最大值都超过了100%;非相干光三角法的测量精度高于激光三角法。
- 单位
