永磁同步直线电机的降阶线性自抗扰控制器研究

作者：邱国富; 贺云波^*; 陈观轩; 范文斌; 吴浩苗

来源：组合机床与自动化加工技术, 2023, (12): 85-88.

DOI：10.13462/j.cnki.mmtamt.2023.12.018

• 永磁同步直线电机
• 阶跃响应
• 线性自抗扰控制
• 降阶观测器

针对永磁同步直线电机(PMSLM)在各种高精密的半导体封装装备中，应用环境复杂多变，存在各种扰动直接影响其运动性能的问题，提出降阶自抗扰控制方法。为了实现该系统高速高精密运动控制，先通过阶跃响应实验获取了系统的开环传递函数，并针对使用常规观测器容易导致系统相位滞后的问题，在传统线性自抗扰(LADRC)基础上，设计了基于降阶线性扩张状态观测器(RLESO)的降阶线性自抗扰控制器(RLADRC),以提升系统对扰动的观测精度；然后基于对XY运动平台的硬件精度限制分析，设计了改进的降阶线性自抗扰控制器(IRLADRC)。实验结果表明，相比于PID和LADRC,IRLADRC具有较好的运动控制效果，使系统的整定时间更短，超调量更小，且抗干扰能力更强，满足了实际工程运用的需求。

• 单位
  广东工业大学