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摘要
采用多弧离子镀和磁控溅射复合技术在H13钢表面制备了不同靶材电流的TiSiCN涂层,采用划痕仪、扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱仪(XPS)、摩擦磨损试验机(UMT-3)等研究了靶材电流对涂层的组织结构、力学性能和摩擦磨损性能的影响。结果表明:随着靶材电流的增加,涂层中Ti和Si元素的含量逐渐减小,C元素含量逐渐增加,涂层的表面越来越平整致密。XRD图谱表明涂层中存在SiC、Si3N4和C这3种非晶相。随着靶材电流的增加,涂层的硬度先降低后升高,靶材电流最高的涂层具有最优的结合力和最佳的耐磨减摩性能。
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