高次非球面微晶玻璃元件的抛光工艺研究

作者：谢影; 付秀华; 贾宗合; 马放; 唐昊龙; 田野

来源：长春理工大学学报(自然科学版), 2012, (04): 34-37.

• 非球面
• 微晶玻璃
• 反馈抛光
• 轮廓仪 aspheric
• zerodur
• corrective polishing
• profilometer

基于德国OptoTech ASM100CNC铣磨机和OptoTech ASP200CNC-B抛光机组成的非球面数控加工中心,研究了口径Ф110mm高次非球面微晶玻璃透镜的铣磨、抛光工艺以及相关工艺参数,同时采用英国TAYLOR HOBSON轮廓仪,在抛光中对其面形误差进行多次反馈补偿,使微晶玻璃零件表面的面形精度逐步收敛,最终获得高次非球面微晶玻璃元件表面面形Rt(PV值)为0.62μm;表面粗糙度为0.01μm;表面光洁度为三级。

• 单位
  东莞光阵显示器制品有限公司; 长春理工大学