气相色谱在多晶硅生产过程中对中间过程物料分析检测的应用进展

作者：任国杨; 杨红燕; 吴偲偲

来源：云南化工, 2018, 45(02): 56-58.

• 多晶硅生产
• 气相色谱
• 中间物料

气相色谱具有高灵敏度、高选择性、高效能、速度快、运用范围广等特点,在多晶硅生产过程中,气相色谱被大量运用于各生产工序物料的分析检测。文章简单介绍了气相色谱分析技术在多晶硅生产过程中对中间产物的分析运用实例。

• 单位
  云南冶金云芯硅材股份有限公司