基于PZT薄膜的微系统器件研究进展

作者：于海超; 尚瑛琦; 刘智辉; 张岩

来源：传感器与微系统, 2020, 39(05): 1-10.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2020)05-0001-03

• 锆钛酸铅压电陶瓷(PZT)
• 传感器
• 能量收集器
• 驱动器

对当前基于锆钛酸铅压电陶瓷(PZT)薄膜微系统器件的研究进展进行了综述,对PZT传感器、PZT能量收集器、PZT驱动器的研究进展以及采用不同工艺PZT薄膜的制备技术进行了阐述。对基于PZT薄膜微系统(MEMS)器件的发展趋势进行了展望。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十九研究所