采用有限元法分析了在球形压头和维氏压头压入试验中304不锈钢表面形成的Mo梯度改性层的接触应力分布,并与304不锈钢基体和同等厚度的均质Mo膜进行对比。结果表明,改性层和膜层在压入过程中均承担了大部分应力,对基材起到了良好的保护作用。梯度结构相对于Mo薄膜能明显减缓接触应力,显示出更好的抵抗接触损伤的能力。