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摘要
在激光惯性约束聚变中，高精密的X射线成像诊断设备成为揭示极端条件下物质状态的关键。受限于初始构型和光学加工能力，现有诊断设备的最优空间分辨率被限制在3～5μm。本文提出了一种基于开放式Wolter构型的亚微米分辨率X射线显微镜。详细介绍了显微镜的光学结构、设计方法和关键参数。提出了一组适用于Rayleigh-Taylor不稳定性诊断的大视场、高分辨率X射线显微镜的光学设计。开展了基于光线追迹的构型验证、像质仿真和系统响应效率评价。显微镜设计工作能点为2.5 keV，有效视场为±0.35 mm，在全视场范围内空间分辨率优于1μm，几何集光立体角为3.73×10-5 sr，峰值响应效率为1.52×10-5 sr。本文为我国高精密X射线成像诊断设备的设计和研制提供技术支撑。
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单位中国科学院; 中国科学院上海技术物理研究所
