铝刻蚀液磷酸浓度变化及TRIZ解决方案

作者：刘丹; 刘毅; 陈启超; 黄中浩; 陈国良; 熊永; 吴旭; 管飞; 郭瑞乾; 林鸿涛; 方亮

来源：创新创业理论研究与实践, 2021, 4(22): 4-11+15.

• 铝刻蚀液
• 磷酸浓度
• 刻蚀能力
• TRIZ

铝刻蚀液由硝酸、醋酸、磷酸混合组成,各酸液浓度变化会对刻蚀产生影响。量产过程中,设备对硝酸和醋酸进行单酸补给,保持其浓度稳定。但磷酸不补给,其浓度会逐渐下降。该文结合铝刻蚀产线,研究了单酸补给开启与关闭情况下磷酸浓度对刻蚀程度的影响;然后结合TRIZ,对量产条件下磷酸浓度下降现象进行分析,并输出解决方案。实验结果表明:单酸补给关闭,硝酸、醋酸逐渐消耗,刻蚀能力降低;当单酸补给开启,硝酸和醋酸浓度稳定,磷酸浓度逐渐下降,刻蚀能力也降低,这是因为补给的硝酸、醋酸含有水,水稀释磷酸造成其浓度下降。刻蚀能力下降会导致金属残留,进而造成良率损伤。结合TRIZ方案,可以通过加大刻蚀区间排气、调整刻蚀出口空气帘流速、根据药液使用时间调整刻蚀产品类型等措施来规避磷酸浓度下降对刻蚀造成的影响。此项研究,为产品良率提升提供参考。

• 单位
  京东方科技集团股份有限公司; 中国科学院大学