微加工和太赫兹真空电子器件技术进展

作者：廖复疆; 蔡军

来源：真空电子技术, 2017, (04): 1-5+11.

DOI：10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2017.04.001

• 微加工
• 太赫兹
• 真空电子器件 Micro-fabrication
• THz
• Vacuum electronic devices

本文对微加工和太赫兹真空电子器件技术进展进行了评论,讨论了微加工和太赫兹真空电子器件可能的应用,也研究了微型器件、微加工的关键技术和需要进一步研究的理论和技术问题。