磁控溅射CdSe薄膜的光学和电学性质

作者：崔熙林; 金健; 顾广瑞^*

来源：延边大学学报(自然科学版), 2023, 49(03): 212-217.

DOI：10.16379/j.cnki.issn.1004-4353.2023.03.001

• CdSe薄膜
• 磁控溅射
• 溅射压强
• 光学性质
• 电学性质

利用射频磁控溅射方法在玻璃和Si(111)衬底上沉积了CdSe薄膜，并研究了不同溅射压强对薄膜的结构、光学和电学性能的影响.X射线衍射分析表明，所有样品均沿(111)面择优生长，晶粒尺寸随溅射压强的增大而减小.透射光谱分析表明，CdSe薄膜在红外光区域具有较大的透射率，薄膜的带隙随溅射压强的增大表现出先增大后减小的趋势.霍尔效应测试表明，随着溅射压强的增加，电阻率出现先增大后减小的趋势，载流子浓度则出现先减小后增大的趋势.该研究结果可为CdSe薄膜在光电器件方面的应用提供参考.

• 单位
  延边大学