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摘要
采用热丝CVD法在硬质合金基体上制备金刚石涂层,研究对比传统酸碱二步法和添加AlCrN过渡层这两种方法对金刚石涂层质量及其结合力的影响。对预处理后硬质合金基体表面形貌、金刚石的形核及生长进行分析,并通过扫描电子显微镜、X射线衍射、拉曼光谱、洛氏硬度计对其结构及性能进行表征。结果表明,AlCrN过渡层表面金属熔滴形成的少量凹坑是金刚石植晶着床点及形核位置,且该过渡层能改善金刚石的结晶质量以及纯度。但AlCrN过渡层获得的金刚石涂层结合力等级为HF6,相同沉积条件下,酸碱二步法处理获得涂层的结合力则可达HF4。
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