超声微坑加工中的电匹配研究

作者：张艺鑫; 祝锡晶^*; 李婧; 任宁

来源：电子世界, 2019, (21): 30-34.

DOI：10.19353/j.cnki.dzsj.2019.21.007

<正>针对超声微坑加工谐振系统等效电路匹配理论,对串联电感匹配电路、LC匹配电路进行了分析研究。提出改进后的LC电路,采用Multisim软件对其进行了仿真分析,对比在不同电感、电容参数和配合方式下换能器阻抗和谐振频率的变化,并使用IM3570阻抗分析仪进行参数测试。结果表明,选取合适的匹配元件参数使超声微坑加工谐振系统在接入匹配电路后能够提高有效加工效率从而获得更好的加工效果。

• 单位
  中北大学