某太赫兹频段波导器件加工工艺

作者：徐向阳; 汪云虎; 薛晓锋; 许洋

来源：火控雷达技术, 2020, 49(01): 70-83.

DOI：10.19472/j.cnki.1008-8652.2020.01.014

• 太赫兹
• 波导器件
• 高速铣
• 无心线切割

综合运用高速铣削加工技术和精密线切割技术,通过定制刀具、加工参数优化,提出了微小深长方形穿丝孔高精度加工工艺,摸索出了小尺寸矩形波导腔无心线切割工艺参数,实现了0.43mm×0.86mm深12mm波导腔的加工,解决了某太赫兹频段波导器件加工难题。

• 单位
  西安电子工程研究所