双通道放气率测量装置器壁放气动态特性分析与碳化硼放气率测试

作者:蔡洋洋; 王国栋; 刘霄; 王姣龙; 陈长琦; 胡庆生
来源:真空科学与技术学报, 2024, 44(08): 673-678.
DOI:10.13922/j.cnki.cjvst.202401011

摘要

双通道法是一种高精度、低检测下限的材料放气率测量方法,适用于碳化硼等低放气率材料。该方法需要先测定测量系统的本底放气量,即在系统压力稳定后,选取某一时刻的压力值计算后作为本底放气量。针对装置本底放气量测量,文章基于吸附扩散理论,建立了双通道测量系统的吸附-扩散-解离模型,并进行了数值计算分析,研究了系统本底压力随温度的变化规律,计算结果与实验结果吻合良好。同时,文章对含B4C样品的系统进行了放气量测试,并减去装置本底放气量,得到碳化硼在室温与150℃下的放气率数值,计算得到碳化硼放气率测量的不确定度为11.78%。这为后续的测试研究提供了理论支持。

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