溶胶-凝胶法制备钛酸铝薄膜的工艺研究

作者：江伟辉; 冯果; 刘健敏; 朱庆霞; 于云

来源：中国陶瓷, 2010, 46(11): 31-34.

DOI：10.16521/j.cnki.issn.1001-9642.2010.11.013

• 溶胶-凝胶法
• 钛酸铝薄膜
• 碳化硅

采用溶胶-凝胶法,以钛酸四丁酯(Ti(OC4H9)4)和硝酸铝(Al(NO3)3.9H2O)为前驱体,乙醇为溶剂,利用硝酸铝中所含的结晶水进行水解反应,制备了适于镀膜的钛酸铝溶胶。利用旋转粘度计、光学显微镜和SEM研究了水解抑制剂种类及用量、pH值、前驱体浓度、陈化时间等因素对镀膜效果的影响。在此基础上,采用浸渍-提拉法经过三次镀膜在碳化硅基片上成功制备出均匀、致密的钛酸铝薄膜。

• 单位
  中国科学院; 景德镇陶瓷大学