平面干涉仪测立方体直角方法误差分析

作者：陈光; 钟林; 张铉

来源：科学技术创新, 2018, (25): 69-70.

• 平面干涉仪
• 面形精度
• 角度误差
• 允差值

用平面干涉仪测量立方体直角的方法方便快捷,适应于大批量的方体加工。对影响平面干涉仪测立方体直角方法误差影响因素进行了分析,确定了面形误差与角度相互配置的合理允差值。为方体加工中角度控制及测量提供了科学理论依据。

• 单位
  华中光电技术研究所