电容式MEMS器件模态频率的电学测试方法研究

作者：侯占强; 肖定邦; 江平; 吴学忠

来源：传感器与微系统, 2008, (05): 12-14.

DOI：10.13873/j.1000-97872008.05.015

• 微机电系统
• 模态频率
• 电容
• 调制解调 micro electro mechanical systems(MEMS)
• mode frequency
• capacitance
• modulation and demodulation

针对电容式MEMS器件,提出了一种基于调制解调原理的模态频率测试方法,详细介绍了该测试方法的测试原理和测试系统的组成。利用Ansys对某插齿式微加速度计进行了模态仿真分析,分析得到的模态频率为3 941 Hz,利用该测试方法对该微加速度计进行模态频率测试,得到的测试结果为3 440Hz。仿真与测试得到的结果接近,验证了该测试方法的有效性,产生偏差的主要原因可能是制造过程中的加工误差。

• 单位
  自动化学院; 国防科技大学