微米及纳米金刚石薄膜的制备及其组织性能研究

作者：史新伟; 李杏瑞; 王新昌; 程春晓; 柴士磊

来源：真空, 2009, 46(06): 43-46.

• 过渡层
• 金刚石薄膜
• 铜衬底
• 附着力 interlayer
• diamond film
• Cu substrtate
• adhesion

采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法在铜衬底上沉积了微米和纳米两种金刚石薄膜,过渡层均为钛-铝-钼。用场发射扫描电子显微镜(FESEM)观察薄膜的表面及断面形貌,用拉曼(Raman)光谱测量所得金刚石薄膜的质量,利用压痕法测试了所得薄膜的附着性能,研究结果表明:过渡层可有效提高微米金刚石薄膜在铜衬底上的附着力,反应气氛中Ar的存在可促使纳米金刚石薄膜的形成,改善薄膜表面的粗糙度。

• 单位
  郑州大学; 材料科学与工程学院