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摘要
激光诱导等离子体在激光加工、脉冲激光沉积等方面具有广阔的应用。为了解决在高真空环境下，等离子体膨胀迅速，外围羽流引起的条纹偏移小，单幅干涉条纹图难以检出的问题，采用同步移相干涉测试技术得到了1.333×10-4Pa和1.333×10-3Pa真空度下激光诱导铝等离子体电子密度分布。结果表明，这种方法能够很好地对高真空下激光等离子体进行诊断。同时采用二维轴对称流体动力学模型，对高真空环境下激光诱导等离子体的膨胀过程进行了数值仿真，得到了电子密度的二维分布。结果表明，等离子体的中心电子密度在50ns时下降至1.4×1020cm-3。数值仿真结果与实验结果吻合较好，验证了模型的正确性，并分析了数值仿真结果存在偏差的原因及改进方法。
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