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摘要
氧化型垂直腔面发射激光器（VCSEL）在高速光通信中有着广泛的应用，应用过程中的可靠性是一个非常重要的指标，要求有高寿命和低失效率。为了更好地了解VCSEL在应用过程中的失效模式和机理，提升器件的可靠性，本文从器件设计、加工制造和应用过程等3个环节总结分析了氧化型VCSEL的常见失效模式、产生原因和机理，并提出了适当的改善措施和建议。其中，对氧化应力、静电放电和湿气腐蚀这3个主要失效因素进行了更为详细的分析。基于以上对业界研究工作的总结和分析，最后对实际工作中遇到的VCSEL失效案例进行简单的介绍，为VCSEL学者、研发设计、制造和使用人员提供一个较为全面的失效分析案例库。
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