杭氧投建其首个电子行业供气项目

来源：低温与特气, 2019, 37(04): 32.

<正>杭氧股份近日公告称,拟投资设立控股子公司——青岛杭氧电子气体有限公司(暂定名,最终以当地市场监督管理局核准的名称为准,简称"青岛杭氧"),并由青岛杭氧实施新建一套2万m3/h纯氮空分装置项目。根据公告,杭氧股份与芯恩(青岛)集成电路有限公司签署工业气体供应合同,合同约定青岛芯恩与公司合作,公司作为2万m3/h纯氮空分装置投资、建设和运营单位,自双方约定的供气日起分阶段向青岛芯恩集成电路项目提供高纯氮气、一般氮气、高纯氧气、高纯氩气、高纯氢气等气体产品。