纳米器件

作者：褚卫国

来源：现代物理知识, 2018, 30(05): 31-37.

DOI：10.13405/j.cnki.xdwz.2018.05.006

• 纳米器件
• 微纳米加工技术
• 纳米技术
• 纳米激光器
• 硅纳米线阵列
• 纳米电子器件
• 纳米尺度

<正>1.概述随着1991年碳纳米管的发现,在全世界范围内掀起了研究纳米技术的热潮,而纳米器件及其加工制备水平是衡量纳米科技发展水平的重要标志。纳米器件是指利用微纳米加工技术制备得到的特征尺寸为纳米尺度(通常为1～100 nm)的具有特定功能的器件。因此,纳米器件具有两个显著特征,一是器件处于纳米尺度;二是具有特定功能。在制备纳米器件过程中需要利用微纳米加工技术,根据加工方式的不同,微纳米加工技术主要可分为"自

• 单位
  国家纳米科学中心