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摘要
在多线锯切片加工中，由于蓝宝石晶体材料的各向异性，不同加工位置处的力学性能不同，导致金刚石线锯在垂直进给方向上产生偏移，从而造成切片加工晶片面形偏差。为深入研究晶体各向异性对切片加工晶片面形偏差的影响机制，通过分析蓝宝石晶体材料的特性，并计算常用晶面弹性模量分布情况，结合线锯受力情况模拟，计算晶片的面形偏差，分析工艺参数对面形偏差的影响。结果表明：C面、A面和M面晶片面形偏差不受蓝宝石各向异性的影响；R面晶片切片加工时，可选择切片进给角度为90°或270°以获得较小晶片面形偏差；减小比进给速度或采用变速进给方法可降低晶片面形偏差。
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单位青岛高测科技股份有限公司; 山东大学
