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摘要
本发明公开一种微型电容器及其制备工艺方法,一种微型电容器包括在基底上卷曲成多圈筒状的本体；本体自外向内依次包括第一保护层、应力层、应变导电层及第二保护层；应力层用于使本体卷曲,应变导电层为具有相变性质的良导体材料制成的交指结构的电极,相邻两圈之间交叠的电极形成电容。另一种微型电容器,包括在基底上卷曲成多圈筒状的本体；本体自外向内依次包括第一保护层、应变层、应力层、导电层及第二保护层；应力层用于使本体卷曲,应变层由具有相变性质的氧化物制成,导电层为交指结构的电极,相邻两圈之间交叠的电极形成电容。该微型电容器具有较大的电容值可调范围,使其可以在射频电容器和微型超级电容器之间转换,且具有较小的尺寸。
- 单位
