MEMS红外图像转换芯片热力学性质研究

作者：刘丹; 周朗; 王欣; 徐立强; 李卓^*

来源：光学技术, 2019, 45(04): 502-508.

DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2019.04.021

• 红外场景生成
• MEMS红外转换芯片
• 热力学性能
• 辐射光谱
• 热传导
• 时间常数

MEMS红外图像转换芯片是一种将可见光转换为红外辐射并用于红外目标模拟器的直接辐射型器件。对MEMS红外图像转换芯片的热力学性能进行研究:与标准黑体辐射谱对比表明芯片辐射光谱为黑体谱,红外波段平均发射率0.638;通过线扩散函数研究芯片横向热传导特性,其热扩散距离随衬底厚度降低而减小,在衬底上制作周期性像元阵列可以有效降低其热传导系数,衬底厚度360nm的刻有像元的转换芯片热传导系数为0.1W/m·K;转换芯片的时间特性研究表明其时间常数随衬底厚度减小而变小,衬底厚度345nm的芯片制冷至5℃时的时间常数为2.72ms。

• 单位
  北京理工大学