摘要

以钨粉为原材料,采用物理气相沉积法中的热蒸发方法制备纳米氧化钨薄膜,将纳米氧化钨薄膜应用于丙酮传感器,探究不同的工作温度和丙酮浓度对丙酮传感器灵敏度和响应时间的影响。在工作温度280℃、丙酮浓度100mg/L的条件下,丙酮传感器具有较好的灵敏度和响应时间。在空气环境下,丙酮传感器对丙酮浓度的灵敏度可达到40mg/L。