表面等离子共振法测量纳米级金属薄膜厚度数值分析（英文）

作者：刘庆纲; 解娴; 秦自瑞; 郎垚璞

来源：纳米技术与精密工程, 2018, 1(01): 16-22.

DOI：10.13494/j.npe.20160108

• SPR效应
• 金属薄膜
• 厚度
• 测量模型
• 数值分析

针对纳米级金属薄膜厚度测量的需求,建立了基于表面等离子共振(SPR)法膜厚测量的数学模型,并以K9棱镜-金膜-空气组成的Kretschmann结构为耦合装置,对SPR方法的光强、相位、波长、角度4种调制模式进行数值分析,介绍了这4种调制模式的原理,并对其传感器的测量范围、灵敏度等参数进行了分析.结果表明:光强型SPR装置的测量范围最大,相位型SPR装置的灵敏度最高.在实际金属薄膜厚度测量的应用中,除了传感器的测量范围和灵敏度外,还需考虑其后续处理装置、算法的复杂性及性价比,结合诸多因素选择合适的SPR传感器.

• 单位
  天津大学; 精密测试技术及仪器国家重点实验室