新型大规模三维均匀低温等离子源理论及设计

作者：程方; 袁斌; 徐伟

来源：真空电子技术, 2006, (03): 17-20.

DOI：10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2006.03.006

• 横向磁化
• 三维均匀
• 等离子源

给出了一种新型大规模三维均匀低温等离子源的工作原理、设计参数和具体实现方案。它使传统感应等离子源由二维均匀转变为三维均匀成为可能,为新型大规模集成芯片加工设备———等离子铣提供了必要的理论及技术准备。

• 单位
  上海交通大学