电子元器件失效分析及技术发展研究

作者：高奕

来源：河南科技, 2018, (34): 72-73.

• 电子元器件
• 失效分析
• 技术

在电子科学技术快速发展背景下,集成电路应用范围不断扩大,为提高集成电路运行可靠性,必须要做好电子元器件失效分析工作。本文就针对电子元器件失效原因展开讨论,从失效现象确认、样品制备与保存、电性分析和物理分析多个方面入手,探讨电子元器件失效分析技术方法,并指出电子元器件失效分析技术发展所面临的挑战,旨在提高集成电路可靠性。