射频磁控溅射法制备La_(0.9)Sr_(0.1)Ga_(0.8)Mg_(0.2)O_(3-δ)电解质薄膜的研究

作者：孙红燕; 马文会; 陈秀华; 于洁; 林航昇

来源：功能材料, 2011, 42(01): 63-66.

• 固体氧化物燃料电池
• LSGM
• RF磁控溅射
• 薄膜 solid oxide fuel cell(SOFC)
• RF magnetron sputtering
• thin film

采用射频磁控溅射法成功地在多孔La0.7Sr0.3Cr0.5Mn0.5O3-δ(LSCM7355)阳极基底上制备了致密的LSGM电解质薄膜层。研究结果表明,当溅射功率为210W、基底温度为300℃、溅射气氛氩气压强为5Pa、溅射时间为12h,得到表观形貌较好、厚度约为10μm的LSGM电解质薄膜。在1000℃空气气氛中退火2h后,电解质薄膜物相结构符合多晶态钙钛矿型结构。

• 单位
  云南大学; 昆明理工大学