基于迟滞观测器的压电工作台自适应控制

作者：魏强; 吴顺伟; 曹会国; 胡承忠; 李现明

来源：纳米技术与精密工程, 2011, 9(02): 145-151.

DOI：10.13494/j.npe.2011.027

• 压电陶瓷
• 精密工作台
• 迟滞补偿
• 神经网络
• 自适应控制 piezoelectric ceramics
• precision stage
• hysteresis compensation
• neural network
• adaptive control

为提高压电陶瓷驱动的微定位工作台的精度和速度,设计了一种基于迟滞状态观测器的自适应控制系统.在分析压电陶瓷迟滞非线性特性和工作台结构的基础上,建立了压电工作台的动态迟滞模型.迟滞观测器用于估计由位移偏差、传递函数、迟滞变量和扰动而产生的不确定误差,对神经网络控制器的输出量进行补偿,使工作台的位移跟随参考值.基于李雅普诺夫稳定理论推导了迟滞观测器的自适应调节律.实验结果表明,采用带有迟滞观测器的自适应控制系统时,在30μm、1 Hz正弦信号作用下,工作台的平均定位误差从之前的0.39μm减小到了0.19μm,对迟滞特性的非对称拟合平均误差由0.42μm减小到0.22μm,在10μm阶跃输入时的平...

• 单位
  泰山学院; 电子工程学院; 山东大学