电子特气在低温干法刻蚀中的应用与发展

作者：陈润泽; 花莹曦; 张建伟; 倪珊珊; 吝秀锋; 李欣; 孙加其; 王佳佳

来源：低温与特气, 2023, 41(02): 11-16.

• 低温干法刻蚀
• 反应离子刻蚀
• 电子特气

介绍了低温干法刻蚀技术的技术原理、应用和进展，探讨了不同刻蚀气体和工艺参数对低温干法刻蚀工艺的影响。