磁控溅射功率对NiAl涂层成分及显微组织的影响

作者：贺殿民

来源：粉末冶金材料科学与工程, 2018, 23(03): 335-340.

• 铝镍合金
• 溅射
• 纳米晶体
• 硬度
• 强化机制

为了研究溅射功率对涂层化学成分及微观组织演变的影响,通过磁控共溅射法在Si晶片上制备Ni-Al合金镀层。采用XRD、SEM及TEM等测试手段对涂层的物相组成及显微组织进行分析。结果表明:在高溅射功率下,可观察到亚稳态(Ni,Al)基体和Ni3A l析出物的显著结晶特征微观结构,在较低溅射功率下,沉积的涂层表现出固溶体多晶结构,(Ni,Al)基体和Ni3Al沉淀的涂层表现出比单一(Ni,Al)相更高的硬度。在溅射过程中,随着高能量的输入,Ni Al涂层逐渐形成了(Ni,Al)纳米晶和Ni3Al相。随Al溅射功率增大,Ni-Al涂层中Al的浓度增加,晶粒尺寸减小。磁控共溅射Ni-Al涂层的硬度变化可归因于晶粒尺寸和微观结构的演变。

• 单位
  内蒙古建筑职业技术学院